汞弧燈
功率:?500W?1kW?2kW?3.5kW
光學(xué)特性:365NM、405NM、436NM
適用范圍:半導(dǎo)體生產(chǎn)線、微電子生產(chǎn)、LCD顯示、LCD顯示、線路板生產(chǎn)、PCB產(chǎn)品
汞弧燈是封裝有汞的、兩端有電極的透明石英管,通電加熱燈絲時(shí),管內(nèi)的汞蒸氣受到激發(fā)躍遷至激發(fā)態(tài),由激發(fā)態(tài)回到基態(tài)時(shí)即發(fā)射紫外光。視管內(nèi)汞蒸氣壓力的不同,所發(fā)射的紫外線光也具有不同的光譜,可分為3類。
A、 低壓汞燈:汞蒸氣壓力為10~100kPa發(fā)射的紫外光呈線狀的分立光譜,其主要發(fā)射波長為254nm和185nm,而前者又占了全部發(fā)射能量的95%以上(實(shí)際上在管內(nèi)以185nm線譜為主,但石英對其有強(qiáng)烈吸收,因而在管外其所占比例很小。)
低壓汞燈的功率較小,一般只有幾十瓦,同時(shí)其發(fā)射波長極短,易產(chǎn)生臭氧,造成空氣污染,在光固化中很少使用。
B、中壓汞燈:我國習(xí)慣上曾將其稱作高壓汞燈,此燈中的汞蒸氣壓力為105kPa (約為1大氣壓)。由于在高壓下汞蒸氣在高溫放電時(shí)發(fā)射譜線增加以及壓力加寬現(xiàn)象,中壓汞燈發(fā)射的譜線波長范圍較寬并有重疊,在紫外區(qū)其主要發(fā)射波長為365nm,其次是313nm,303nm。
C、高壓汞燈:我國習(xí)慣上稱之為超高壓汞燈,汞蒸氣壓力為105~106kPa,即1~10大氣壓。它可提供最強(qiáng)的紫外和可見光,其輸出功率可達(dá)普通中壓汞燈的十倍,工作時(shí)其電極溫度可達(dá)2000°C,而燈管溫度則可達(dá)600°C,因此需要加以冷卻,燈的功率與冷卻效率有關(guān)。
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